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坂东电线对净室无尘拖链电线集尘问题研究

对于洁净室环境来说,洁净室无尘拖链电线集尘是一个复杂的问题。为了尽量减少集尘,需要尽可能地避免电线以及套管之间的摩擦。尽管通过减少运动器件可以减少集尘,但是自动生产线上电线的运动不可避免。
    另外,用于分隔圆形电线和套管的分隔片和支架是产生集尘的另一个因素。如果不使用分隔片,或者分隔片没有正确的安装,电线以及套管之间的摩擦将导致这些部件的蠕变、移动或扭曲,这样就会增加集尘。

 

  为了获得能运行上千万次寿命的低集尘电线系统,系统设计工程师应尽可能减少运动器件的数量,以及这些零件之间的摩擦。洁净室无尘拖链电线制造商会提供详尽的正确安装和使用电线的指南,它决定了你的电线系统洁净度。然而,用在洁净室环境的电线和电线拖链应该经过测试确定电线材料的集尘特性,以及电线在整个系统的相互作用问题。

  一、测试设计

  为了鉴别集尘是由电线还是电线拖链造成的,将相同的扁平电线放在同一厂家生产的两种不同的电线拖链中进行了测试。在测试中,选择了两种非金属电线拖链:一种是低振动,无噪音的清洁型电线拖链(拖链A),一种是带有链环和销的传统拖链(拖链B)。除了测试了Gore无拖链电线(TK31540-01),还对三种电线拖链组合作了评估:

  --电线拖链A,安装2根戈尔高柔性扁平电线,一根电线叠放在另一根上面

  --电线拖链B,安装2根戈尔高柔性扁平电线,一根电线叠放在另一根上面

  --电线拖链A,安装2根圆形电线,一根电线放在另一根旁边,无分隔器。为了使对电线的摩擦小,设计了具有足够空间的拖链使这两条圆形电线之间不会彼此接触。每个电线拖链垂直放置,与洁净室的空气流动方向相对应,以确保产生的所有微粒都被记录下来。先确定有可能产生集尘的电线拖链的关键地方,光学微粒记数器放置在每根电线的这些区域的三个位置(见图1)。每个记数器会记录0.1至5.0微米大小的微粒。在每个测量点对产生的悬浮微粒作100分钟记录,每根电线分别在运行速度0.5米/秒、1.0米/秒、2.0米/秒作测试。然后使用数学方法按微粒尺寸(0.1、0.2、0.3、0.5、1.0和5.0微米)计算每个测量点的大数,按照GuidelineVDI2083Part9.1标准确定集尘数量。为了能测定每个电线拖链系统的运行实效,弗劳恩霍夫研究所使用这些结果来确定高集尘量的测量点。运行实效被用来确定ISO洁净度认证的等级。光学微粒记数器放置在每根电线有可能产生集尘的三个位置。

 

  二、结果

  光学微粒记数器记录了无拖链电线(见表1)和装有高柔性扁平电线的电线拖链A在每个测量点产生0个微粒(见表2)。按照VDIGuideline2083和ISO14644-1标准的集尘可能性的计算方法,测定这些电线在上述测试速度的集尘可能性低于0.1%。安装圆形电线的拖链A在不同运行速度都产生了不同数量的微粒(见表3)。按照VDIGuideline2083和ISO14644-1标准,鉴定这种电线拖链/电线装置产生集尘的可能性是3%。

  安装高柔性扁平电线的拖链B在不同运行速度下也产生了不同数量的微粒(见表4)。按照VDIGuideline2083和ISO14644-1标准,鉴定这种电线拖链装置产生集尘的可能性是3%。当运行行程不超过1.5米时,这些电线不需要电线拖链、分隔器和支架,所以这些电线能非常可靠地应用在1级洁净室。通过测试安装在两种不同电线拖链的高柔性扁平电线表明,集尘是由电线拖链造成的。高柔性扁平电线在拖链往返弯折运动的集尘量是低的。除了不需要电线拖链里的分隔器和支架外,电线的扁平结构均匀分布对电线护套的作用力,这样就减少了对电线护套的磨损,以及由于运动引起的摩擦。通过将所有电线、软管和光纤结构都放置在高柔性扁平电线内,就可使用更小更轻的电线拖链。

  在使用带拖链的圆形电线系统时,为使集尘产生量少,仅测试了使用无分隔器和支架、低振动的清洁型电线拖链。由于集尘量取决于运行速度,这种电线系统能应用于ISO14644-1标准的4级洁净室。然而,这种设计不能准确反映实际使用中的电线拖链的集尘情况,因为实际使用中电线拖链内塞满了电线、套管、分隔器和支架,这就增加了摩擦和集尘量。

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