由于现代的洁净室要求非常严格,为了降低发生不合格的现象,一般在半导体设备上使用有特殊材料制作成的拖链电线,后面也被人们称为洁净室无尘拖链电线。
洁净室无尘拖链电线具有改性的聚苯醚热塑性绝缘而不是标准PVC的电缆具有约90%的脱气。这使得它们比传统使用的氟聚合物成本更低,更适合于洁净室。不仅考虑到硅晶片蚀刻设备的独特清洁度要求,还有机器经常需以高速经常进行多次重复运动。因此必须使用能够经受快速和反复弯曲和移动的电线。而洁净室无尘拖链电线可承受额定超过100万弯曲。因为其它电线需要足够小以适合存在于许多半导体制造机器中的紧密位置。减少除气的相同mPPE绝缘具有次要的优点,也比使用传统绝缘制成的线更紧密。虽然规格因电缆而异,但一些mPPE护套电线可比同类PVC绝缘电缆小47%,轻65%。